Hohe Reinigkeit Quarz Plasma Waschmaschine Material Oberflächenreinigung

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VPS-QZ05 Quartz Vakuum Plasma Prozessor ist eine kleine Tisch-Plasma-Waschmaschine, die speziell für die Bedürfnisse des Labors entwickelt wurde, mit einem Verarbeitungsraum aus zylindrischem Quartzglas und einem Prozessor mit einer kapazitiv gekoppelten Außenelektrode ohne Elektroden im Inneren.

Produktdetails

Produktbeschreibung

VPS-QZ05 Quarzvakuum PlasmaprozessorEs handelt sich um eine kleine Tisch-Plasma-Waschmaschine, die speziell für die Anforderungen des Labors entwickelt wurde, mit einem Verarbeitungsraum aus zylindrischem Quarzglas und einem Prozessor mit einer kapazitiv gekoppelten Außenelektrode ohne Elektroden im Inneren. Das heißt, die Entladungsenergie von außerhalb des Prozessors ausgeübt wird, kann die Korrosion der Elektroden und das Problem der Ablagerung von Reagenten auf der Polplatte vermieden werden.

VPS-QZ05 Quarzvakuum PlasmaprozessorAnwendung:PDMS-Bindung, Einführung spezifischer Funktionsgruppen, Plasma-Grauerung, Oberflächenfilophobe Modifikation, Verbesserung der Haftbarkeit

VPS-QZ05 Quarzvakuum PlasmaprozessorMerkmal：Keine Schadstoffe während der Behandlung, einfache Bedienung, geeignet für Forschungsinstitute, Hochschulen und Forschungs- und Entwicklungszentren

VPS-QZ05石英真空等离子处理仪

Produktparameter

Modell	VPS-QZ05
Frequenz	13. 56 MHz
Leistung	0-200W kontinuierlich einstellbar
Hohlraummaterial	Qualitäts-Quartz
Kammervolumen	5L
Kammergröße	Φ150 × 290 (D) mm
Gasstromregler	MFC Massenflussregler
Anzahl der Gaswege	2-Wege-Gase, häufig verwendete O2, Ar2, N2, H2, etc. (korrosive Gase sind maßgeschneidert)
Vakuummessysteme	Pirani Vakuum Siliziumrohre
Endvakuumgehalt	1Pa
Kontrollmethode	PLC + 4,3 Zoll Touchscreen
Vakuumpumpen	Ölpumpe/Trockenpumpe (optional)
Stromversorgung	AC220V / 50Hz
Größe	550mm (L) × 450mm (W) × 500 mm (H)

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