Versorgung mit Gasmasse-Durchflussregler s-300 Produktion

Einführung

Hohe LeistungMFCMaßgeschneidert für die Halbleiterindustrie

S300Serie von digitalen Massenflussreglern/Durchflussmesser: Mit einem ausgezeichneten Durchflusssensor von industrieller Qualität, der von der Firma selbst entwickelt wurde, kombiniert wird mit einer feinpolierten Gaswegstruktur und einer hochpräzisen digitalen Steuerschaltung und -algorithmus, um eine hohe Präzision, eine geringe Drift und eine hohe Wiederholbarkeit zu erreichen. Dieses Produkt verfügt über eine Live-Anzeige und einen Adress-Codierungsschalter, eine Vielzahl von Kommunikationsmethoden, eine anpassbare Metalldichtung und ist für Halbleiter, Vakuumbeschichtungen, Photovoltaik und andere Anwendungen geeignet.

Hauptvorteile

S1Physikalische Funktionsmodule

Top-Konfiguration mit umfangreichen Funktionsmodulen:

* RJ45Digitale Kommunikationsschnittstelle(anpassbar

EtherCAToderRS485Vereinbarung)

* Adresscodierung Schalter

* Live-Anzeige

* Statusanzeige

Außerdem ist die seitliche Konfigurationder M8Luftfahrt Stromversorgung Schnittstelle, intuitive Anzeige, einfache Bedienung, einfache Benutzer für die Überwachung und Steuerung des Verkehrs vor Ort.

S2Schnelle Reaktion

1,5 msReaktionszeit des Sensors,0,1 ~ 0,5 SekundenDie Reaktionszeit des Messsystems ermöglicht die rechtzeitige Erfassung kleiner Durchflussänderungen.

S3Hohe Präzision

2.0%-ProzentF.S.Hohe Genauigkeit im gesamten Messbereich:

0,3 % F.S. (≤30 % F.S.)；1,0%S.P.＞30 % F.S.)

S4Ausgestattet mit speziellen Obergeräten

Ausgestattet mit leistungsstarken FunktionenSmartflowEmbedded-Software, die mehrere Verbindungen unterstützt, um die Überwachung und die Gerätekonfiguration zu erleichtern.

S5Zertifizierte Produkte

durchTüVInternationale InstitutionenCE und EMCZertifizierung oderJLYKalibrierungszertifikate der ersten Stufe, die mehreren Punkten entsprechenSEMIStandards.

Produktspezifikation

* Sofern nicht anders angegeben, ist dieses Produkt unter folgenden Bedingungen gekennzeichnet: Stickstoff, Temperatur25℃、2,5 barDifferenzdruck(Lufteingang3,5 barAbsoluter Druck gegen Auslass1bar

Absoluter Druck)Horizontale Installation.

* Es wird empfohlen, an der Eingangsseite ein passend großes Direktrohrsegment zu installieren, da sonst eine Abweichung der Genauigkeit verursacht werden kann.

* Es wird empfohlen, möglichst große Verbindungen an den Eingangs- und Ausgangsenden anzupassen, um zusätzliche Druckverluste zu vermeiden.

1 Der angezeigte Messbereich ist ein optionaler Messbereich für Stickstoff.

2 % F.S.Der Prozentsatz der Fehler im vollen Umfang.

3 % S.P.Fehler als Prozentsatz des festgelegten Wertes.

4 Die Reaktionszeit bezieht sich auf das Erreichen des eingestellten Wertes ±2%innerhalb der erforderlichen Zeit.

5 Arbeitsdruck bezieht sich auf Eingang und Auslass(1bar)Absoluter Druck)Für weitere Details zwischen Druckdifferenzen kontaktieren Sie uns bitte.

Größe und Kommunikation