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Shanghai Haixiang Instrument Equipment Factory
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Shanghai Haixiang Instrument Equipment Factory

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Ursprungsort

Übersicht

Geeignet für oxidfreie Behandlungsprozesse wie Halbleiter, sauerstofffreies Kupfer, optoelektrische Komponenten, energetische Rohstoffe, Kommunikationsprodukte, elektromechanische Produkte und andere.

Produktdetails

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I. Verwendung der Ausrüstung

Geeignet für die Verarbeitung von Halbleitern, optoelektrischen Komponenten, Rohstoffen, Kommunikationsprodukten, elektromechanischen Produkten und anderen Prozessen wie oxidfreie Trocknung, Härtung, Schweißen und Ausbrennen.


Zwei,technische Parameter

Parameter / Modell

HZF-100L

HZF-150L

HZF-250L

HZF-500L

Volumen (L)

100 Liter

150 Liter

250 Liter

500L

Innengröße mm

470*450*450

500*600*500

800*700*900

1000*1000*1000

Außengröße mm (ca.)

940*720*1530

970*870*1580

1270*970*1980

1470*1270*2080

Temperaturbereich

Raumtemperatur +15 ~ 250 ℃

Temperaturschwankungen

±0.2℃

Elektrische Wärmeleitungen

Staubfreie Heizung 5KW × 1 Sets

真空度

100KPa ~ 0,1KPa

Konstruktion des Endvakuums

0,2 KPa

Vakuumleckrate

Durchschnittliche 24-Stunden-Leckage ≤800Pa

Erwärmungsgeschwindigkeit

RT ~ 150 ℃ ca. 30 min

降温速率

150 ℃ ~ 60 ℃ ca. 30 min

Vakuumgeschwindigkeit

< 0,2KPa/5Min

Vakuumfreiung

< 5 ~ 15 min (einstellbar), brechendes Vakuumgas kann gewechselt werden (Stickstoff und Luft: Luftbandfilter)

Sauerstoffgehalt

腔体氧含量≤1000PPM

Stickstofffluss

Stickstofffluss 10 ~ 100L / Min Schwimmer Durchflussschalter

Trennplatten

Zwei Stücke.

Drei Stücke.


III. Strukturelle Merkmale

(1) mit vertikalem Hohlraum-Design, oberen Arbeitsraum, Hohlraum mit Trennplatte und Kühlleitung, Rückenblaser, unteren Gehäuse mit Vakuumpumpe, Kühlleitung und Partikelfilter in unteren Elektroschrank installiert, Hohlraum mit Pumpmündung, Entladung, Stickstoffeinlass, Pumpvakuumventil auf der Rückseite der Unterseite des Gehäuses installiert;


(2) Gehäuse: hochwertige A3 / Dicke 1,5 mm kaltgewalzte Stahlplatte plus 100 * 100 * 80 mm Schlitz Stahl geschweißt, Oberfläche elektrostatisches Spritzgießen;


(3) Innenraum: Import SUS304 / Dicke 3,0 / 5,0 mm gedrehte Edelstahlplatte;


(4) Türöffnungsmechanismus: Schlitzstahl mit gehärtetem Glas (Einzeltür);


(5) Türdichtungsmaterial: Schließung der Tür locker Strammenstellung, Gesamtformung japanischer importierter Silikon-Gummi-Türdichtungsring, um ein hohes Vakuum im Kasten zu gewährleisten;


(6) Temperaturregelung: Hochpräzises Mikrocomputer-PLC-Programm-Thermometer, mit PID und Erfahrungswert-Verschwommenheitstechnologie, Präzision der Temperaturregelung, willkürliche Einstellung der Arbeitstemperatur, Datenaufzeichnungsspeicherung, USB-Datenexportfunktion, Fehleralarmabfragefunktion;


(7) Vakuumsteuerung: Über ein SPS-Relais zur Steuerung des automatischen Pumpenvakuums und zur Verzögerung des Pumpenvakuums und des Zeitschalters. Die Pumpleitung ist mit einem Elektromagnetventil ausgestattet. Es kann eingestellt werden, um die Vakuumpumpe regelmäßig zu öffnen, automatisch zu pumpen, die Ausfallfunktion regelmäßig einzustellen, Datenaufzeichnung zu speichern;

Schutzsystem

Unabhängiger Überwärmealarm schaltet die Heizungsstromversorgung ab

Leckageschutz

Blockieralarm

Lüfter Überhitzungsschutz

Überhitzungsschutz der Vakuumpumpe

Wasserkühlstromschutz

Stickstoffüberdruckschutz

Phasenschutz

Erdung und Schutz